《機械故障診斷及典型案例解析》一書中描述，電渦流式位移傳感器具有線性范圍大、靈敏度高、頻率范圍寬、抗干擾能力強、不受油污等介質影響等特點。這類傳感器采用非接觸方式測量，能方便地測量運動部件與靜止部件間隙變化。電渦流傳感器在選型時依據是被測對象表面的變化范圍。一般來說，電渦流傳感器的探頭直徑越大，其測量范圍也越寬，而其靈敏度越小。
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